Refractómetro para semiconductores
Medición de concentración de químicos en línea con el KxS DCM-10. Consulta la conexión y calibración adecuadas para tu proceso con Omega Process.
Concentración en tiempo real en procesos húmedos
El DCM-10 mide índice de refracción y temperatura para entregar una lectura de concentración compensada. Integra las funciones de medición en el sensor, sin transmisor externo obligatorio.
La escala se define para el químico o mezcla. En soluciones multicomponente, una sola lectura refractométrica no determina de manera independiente la concentración de todos los componentes.
Recepción, mezcla y distribución de químicos
Seguimiento de la concentración antes del uso en proceso.
Aplicaciones para verificar la concentración de químicos entrantes y seguir diluciones o mezclas. KxS describe también el monitoreo de slurries CMP.
Se revisan composición, rango y compatibilidad del conjunto para definir qué variable puede correlacionarse con la lectura.
Limpieza de obleas y ataque químico
Monitoreo de baños y soluciones utilizadas en fabricación.
KxS publica aplicaciones en limpieza de obleas, mezclas SC-1 y SC-2, ataque químico y eliminación de residuos posteriores al ataque.
La medición permite seguir cambios del baño. La relación con la velocidad de ataque o la vida útil se establece para el proceso específico.
Planarización químico-mecánica: CMP
Seguimiento de concentración en soluciones y slurries.
Aplicaciones en dilución con agua desionizada y monitoreo de concentración de H₂O₂ en formulaciones CMP, según calibración.
La representatividad de la lectura depende de la composición del slurry y de las condiciones de operación. Indica formulación, temperatura y variable requerida.
Montaje compacto en líneas de pequeño diámetro
Conexiones para líneas de ¼, ⅜, ½, ¾ y 1 pulgada, con opciones Flare, Pillar o PrimeLock® según configuración.
La celda de paso completo y el diseño de doble cuerpo permiten separar la celda del módulo óptico sin desmontar su construcción interna. Cualquier intervención sigue el procedimiento del fabricante.
Para seleccionar el montaje, confirma el diámetro de tubo, el tipo de fitting y el espacio disponible en el equipo.
Datos técnicos de referencia
Índice de refracción: nD 1,3200–1,5300.
Temperatura de proceso: 0 a 85 °C.
Temperatura ambiente: 0 a 45 °C.
Materiales en contacto: PFA, zafiro y ECTFE; sellado encapsulado con O-ring FFKM.
Carcasa: polipropileno.
Protección: IP67 / NEMA 4X.
Peso publicado: 330 g.
La compatibilidad y la presión admisible se confirman para el químico, temperatura, celda y conexiones seleccionados.
Señales e integración al equipo
Alimentación de 24 VDC, dos salidas independientes 4–20 mA y comunicación Modbus TCP. La interfaz por navegador permite acceder a configuración, diagnóstico y valores medidos.
El sistema admite visualización externa opcional. Para EtherNet/IP o PROFINET se revisan las opciones de software o conversión correspondientes.
Para instalaciones en áreas clasificadas, confirma la versión y documentación aplicable antes de definir el suministro.
Revisemos tu químico y condiciones de proceso
Envíanos el químico o mezcla, componentes, rango de concentración, temperatura, presión y caudal. Agrega diámetro y tipo de fitting, señales requeridas y método de referencia para validar la calibración.
Imagen y documentación: KxS Technologies. Configuración y disponibilidad se confirman por aplicación.